SENTECH SI 500 PPD (ICPECVD)

• Автоматическая установка плазмохимического осаждения индуктивно-связанной плазмой с  шлюзовой загрузкой для НИОКР
• Назначение: осаждение диэлектриков  (SiO_х, SiN_у, SiO_xN_у)
• Вакуумируемая алюминиевая загрузочная камера. Загрузка по одной пластине или группе пластин на носителе
• Пластины:  ø2”, ø3”, ø4”, ø6”, ø8”, оперативное управление температурой пластины
• Рабочая камера: алюминиевая ø298мм
• Электроды: плоскопараллельные; ИСП –электрод (верхний)  ø250мм (с распылителем газов — ø260мм), нижний – заземленный алюминиевый электрод-подложкодержатель ø240мм с системами нагрева и охлаждения
• Температура подложки: (20÷350)°C   
• Генератор ВЧ: 600Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления. Генератор НЧ (опционно) – (150÷300)кГц
• Газовая система: 6 газовых линий с РРГ, продувочный азот, гелий
• Применяемые газы: CF₄, NH₃, SiH₄, O₂, N₂O, Ar, Hе, N₂  и прочие
• Вакуумная система: для рабочей камеры – коррозионностойкий турбомолекулярный насос и коррозионностойкий форвакуумный насос с химическим фильтром; для загрузочной камеры — форвакуумный насос 12 м³/ч
• Система управления: компьютерная, с Windows ХР
• Электроэнергия: 400В, 3ф, 32А, 50/60Гц
• Очищенный сжатый воздух: 6 кг/см²
• Азот: (3÷4) кг/см², 25 л/процесс
• Охлаждающая вода: 4 кг/см², (6÷8) л/мин, (15÷20)°С
• Вытяжная вентиляция: подключение к газовому шкафу – ø80мм, к насосам – DN 40 KF
• Габариты: реакторный блок – (655x1850x1400) мм, стойка управления – (650x800x1200) мм, насосный модуль – (700x630x1100) мм, шкаф для основных подключений – (400x300x500) мм 
• Вес: реакторный блок – 270 кг, стойка управления – 120 кг, насосный модуль – 180 кг, шкаф для основных подключений – 30 кг
• Опционно: высокопроизводительная вакуумная система, безмасляные вакуумные насосы; система рециркуляции с чилером; дополнительные газовые линии; цифровые РРГ на пьезокристаллах; система нагрева стенок реактора; система измерения и оповещение об окончании процесса; датчик температуры обратной стороны пластины с оптоволоконным присоединением; конфигурации для кластера – с однопластинной загрузкой либо с кассетной загрузкой

к списку